Mikrosystemtechnik (WS 2022/23)

Vorlesung: Donnerstag, 10.15 - 11.45 Uhr, Geb. A5.1, Raum -1.22 (oder online via Teams nach Anmeldung)

Übungen etwa alle 14 Tage, Freitag, 14 - 16 Uhr, Geb. B2 2, Raum 1.08 (1. OG)

Hinweise zu den Übungen

Übung findet 14 täglich statt, Termine siehe unten
Übungsblätter mit Aufgaben zum Verständnis und Vorrechnen, ca. 1-2 Wochen vor der Übung
- Vor der Übung gibt jede(r) an, ob er/sie eine Aufgabe bearbeitet hat und erläutern/vorrechnen kann --> 1 Bonuspunkt je 10% bearbeiteter Aufgaben für die Klausur (Klausur: ~100 P, 50 P benötigt zum Bestehen)
- In der Übung wird zufällig aus den Angaben ausgelost, wer die Aufgabe vorstellt --> Stellt sich heraus, dass die Aufgabe nicht bearbeitet wurde, verfallen alle Bonuspunkte
- Hat niemand die Aufgabe vorbereitet, wird sie gemeinsam diskutiert (Verständnisaufgaben) oder von der/dem Betreuer/in vorgerechnet

Betreuung der Übungen: Ksenia Karst, Leopold Weiland

Vorlesungen aus dem WS20/21 wurden als kommentierte Präsentationen (Format mp4) über Teams bereitgestellt.

Hinweise zur Klausur

zugelassene Hilfsmittel zur Klausur sind hier aufgeführt.

Download der Vorlesungsfolien

Vorlesungen:	Datum:	Inhalt:
Vorlesung 01	27.10.2022	Kap. 0: Organisatorisches (als ppsx) Kap. 1: Einführung, Geschichte, Skaleneffekte (als ppsx) K.E. Petersen: Silicon as a Mechanical Material (als pdf) Aufruf zum COSIMA-Wettbewerb (2022)
Vorlesung 02	03.11.2022	Abschluss Kap. 1 Kap. 2.1: Mikrotechnologien - Technologieüberblick, Reinraumtechnik (als ppsx)
Vorlesung 03	10.11.2022	Kap. 2.2: Materialien, Kristallographie, Si: Eigenschaften und Herstellung (als ppsx)
Übung 1	11.11.2022	Übungsblatt 1 studentische Lösung Übung 1
Vorlesung 04	17.11.2022	Abschluss Kap. 2.2
Vorlesung 05	24.11.2022	Kap. 2.3: SiO2: Eigenschaften und Herstellung (als ppsx) Kap. 2.4: Dünnschichtabscheidung (als ppsx)
Übung 2	25.11.2022	Übungsblatt 2 studentische Lösung Übung 2
Vorlesung 06	01.12.2022	Abschluss Kap. 2.4
Vorlesung 07	08.12.2022	Kap. 2.5: Dotierung von Si (als ppsx)
Übung 3	09.12.2022	Übungsblatt 3 studentische Lösung Übung 3
Vorlesung 08	15.12.2022	Kap. 2.6: Lithographie (als ppsx)
Vorlesung 09	22.12.2022 online Vorlesung	Kap. 2.7: Ätztechnik (als ppsx)
Vorlesung 10	05.01.2023 online Vorlesung	Abschluss Kap. 2.7 (Trockenätzen)
Vorlesung 11	12.01.2023	Kap. 2.8: Volumen- und Oberflächenmikromechanik (als ppsx)
Übung 4	13.01.2022	Übungsblatt 4 studentische Lösung Übung 4
Übung 5	Termintausch mit Vorlesung 19.01.2022	Übungsblatt 5 studentische Lösung Übung 5
Vorlesung 12	Termintausch mit Übung 20.01.2023	Kap. 2.9: Waferbonden (als ppsx) Kap. 2.10: Aufbau- und Verbindungstechnik (als ppsx)
Vorlesung 13	26.01.2023	Kap. 2.11. Galvanik, Abformung, LIGA (als ppsx) Kap. 2.12: Zusammenfassung und Prozessbeispiel (als ppsx)
Vorlesung 14	02.02.2023	Kap. 3.1: Bauelemente: passive Mikrokomponenten (als ppsx) Kap. 3.2: Bauelemente: Mikrosensorik (als ppsx)
Übung 6	03.02.2022	Übungsblatt 6 studentische Lösung Übung 6
Vorlesung 15	09.02.2023	Kap. 3.3: Bauelemente: Mikroaktorik (als ppsx) Kap. 3.4: Mikrosystemtechnik @ LMT (als ppsx)
Klausur		1. Klausurtermin: Freitag, 17. Februar, 10 - 12 Uhr, Geb. A5.1, Hörsaal -1.03 2. Klausurtermin: Montag, 27. März, 10 - 12 Uhr, Geb. A5.1, Hörsaal -1.03

Weitere Informationen siehe Modulbeschreibung

Rückfragen, Anmerkungen bitte an Diese E-Mail-Adresse ist vor Spambots geschützt! Zur Anzeige muss JavaScript eingeschaltet sein.